HERCULES^® NIL

HERCULES NIL 300 mmは、量産向けの初の完全モジュラー式ナノインプリント・リソグラフィ装置です。本装置は、EVG独自のSmartNILインプリント技術と、洗浄、レジスト塗布、ベークを300 mmプラットフォーム上で組み合わせています。SmartNILモジュールの統合と新しいハードウェアおよびソフトウェア機能の実装により、HERCULES NIL 300 mmは、低荷重およびコンフォーマルインプリント、高速ハイパワー露光、スムーズなスタンプ剥離により、市場で最先端のナノインプリント性能を提供します。

プロセスチェーンを最適化するため、HERCULES NILには、大量生産の要となる繰り返し使用可能なソフトスタンプの作製機能が搭載されており、追加のインプリントスタンプ作製装置は必要ありません。本装置は、拡張現実 / 仮想現実（AR / VR）ヘッドセット用光学デバイス、3Dセンサー、バイオメディカルデバイス、ナノフォトニクス、プラズモニクス、メタサーフェスなど、さまざまなデバイスやアプリケーションの製造をサポートします。HERCULES NILは、大量生産向けの完全なNILソリューションを提供することで、全面NIL装置ソリューションの分野におけるEVGのリーダーとしての地位を確固たるものにします。