UV-NIL / SmartNIL®装置
EV Group はシングルステップインプリント装置、大面積対応インプリント装置、そして思い通りのマスター製作が可能なステップ＆リピート方式の装置など、UVナノインプリント・リソグラフィ技術（UV-NIL）に関する製品を取り揃えています。EVGは、ソフトUV-NILに加えて、多目的ポリマースタンプ技術を備えた独自のSmartNIL テクノロジーをご提案します。高性能で耐久性の高いSmartNILプロセスは、残膜を最小限にしつつ、高度なパターニングの再現性と均一性を保持します。また、各ウェーハサイズと生産量に合わせることができるなど、拡張性が高いことが特徴です。EVGのSmartNILは、ナノインプリント技術がマイクロ・ナノスケール構造を生産するために必要な高い性能、低コスト、そして量産に対応する製造技術であり続けることをお約束します。
Choose your UV-NIL / SmartNIL® System
EVG®610
UV- Nanoimprint Lithography System
A universal R&D mask alignment system with UV-nanoimprint capability from small pieces up to 150 mm
EVG®620 NT
SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography System
A universal mask alignment system with UV-nanoimprint capability featuring EVG´s proprietary SmartNIL® technology up to 100 mm
EVG®6200 NT
SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography System
A universal mask alignment system with UV-nanoimprint capability featuring EVG´s proprietary SmartNIL® technology up to 150 mm.
EVG®720
Automated SmartNIL® UV Nanoimprint System
Automated full-field UV-nanoimprint solution up to 150 mm, featuring EVG´s proprietary SmartNIL® technology.
EVG®7200
Automated SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography System
Automated full-field UV-nanoimprint solution up to 200 mm, featuring EVG´s proprietary SmartNIL® technology
EVG®7300
Automated SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography System
Automated UV Nanoimprint solution up to 300 mm, featuring EVG´s proprietary SmartNIL® technology
EVG®7200 LA
Automated Large Area SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography System
Unmatched conformal nanoimprint lithography over large area.
HERCULES® NIL
Fully Integrated SmartNIL® UV-NIL System
A fully integrated nanoimprint lithography solution for high-volume manufacturing, featuring EVG´s proprietary SmartNIL® imprinting technology.
EVG®770 NT
Step-and-Repeat Nanoimprint Lithography System
Step-and-Repeat Nanoimprint Lithography for Efficient Master Fabrication.
IQ Aligner®
Automated UV Nanoimprint Lithography System
High-precision UV imprinting system for wafer-level lens molding and stacking.
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