UV-NIL / SmartNIL®装置

EV Group はシングルステップインプリント装置、大面積対応インプリント装置、そして思い通りのマスター製作が可能なステップ&リピート方式の装置など、UVナノインプリント・リソグラフィ技術(UV-NIL)に関する製品を取り揃えています。EVGは、ソフトUV-NILに加えて、多目的ポリマースタンプ技術を備えた独自のSmartNIL テクノロジーをご提案します。高性能で耐久性の高いSmartNILプロセスは、残膜を最小限にしつつ、高度なパターニングの再現性と均一性を保持します。また、各ウェーハサイズと生産量に合わせることができるなど、拡張性が高いことが特徴です。EVGのSmartNILは、ナノインプリント技術がマイクロ・ナノスケール構造を生産するために必要な高い性能、低コスト、そして量産に対応する製造技術であり続けることをお約束します。

Choose your UV-NIL / SmartNIL® System

EVG610

EVG®610

UV- Nanoimprint Lithography System

A universal R&D mask alignment system with UV-nanoimprint capability from small pieces up to 150 mm

EVG620NT

EVG®620 NT

SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography System

A universal mask alignment system with UV-nanoimprint capability featuring EVG´s proprietary SmartNIL® technology up to 100 mm

EVG6200NT

EVG®6200 NT

SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography System

A universal mask alignment system with UV-nanoimprint capability featuring EVG´s proprietary SmartNIL® technology up to 150 mm.

EVG720

EVG®720

Automated SmartNIL® UV Nanoimprint System

Automated full-field UV-nanoimprint solution up to 150 mm, featuring EVG´s proprietary SmartNIL® technology.

EVG7200

EVG®7200

Automated SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography System

Automated full-field UV-nanoimprint solution up to 200 mm, featuring EVG´s proprietary SmartNIL® technology

EVG® 7300 SmartNIL®

EVG®7300

Automated SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography System

Automated UV Nanoimprint solution up to 300 mm, featuring EVG´s proprietary SmartNIL® technology

EVG7200LA

EVG®7200 LA

Automated Large Area SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography System

Unmatched conformal nanoimprint lithography over large area.

HERCULES NIL

HERCULES® NIL

Fully Integrated SmartNIL® UV-NIL System

A fully integrated nanoimprint lithography solution for high-volume manufacturing, featuring EVG´s proprietary SmartNIL® imprinting technology.

EVG770

EVG®770 NT

Step-and-Repeat Nanoimprint Lithography System

Step-and-Repeat Nanoimprint Lithography for Efficient Master Fabrication.

IQ Aligner

IQ Aligner®

Automated UV Nanoimprint Lithography System

High-precision UV imprinting system for wafer-level lens molding and stacking.

Talk to our EVG product experts!

Questions?