EVG®610 は、小型の基板片から最大200mmのウェーハまで対応可能な、コンパクトで多目的なR&D装置です。
EVG610は、バキュームコンタクト、ハードコンタクト、ソフトコンタクト、プロキシミティ露光モードなど、さまざまな標準リソグラフィプロセスに対応しており、オプションで裏面アライメントも可能です。さらに、本装置はボンドアライメントやナノインプリント・リソグラフィ（NIL）といった追加機能も備えています。EVG610は、数分未満という短い切り替え時間で、変化するユーザー要件に合わせた迅速な処理とツール交換を実現します。高度なマルチユーザーコンセプトにより、初心者からエキスパートレベルまで対応可能なため、大学やR&Dのアプリケーションに最適です。
特長
- 200 mm/8インチまでのウェーハ/基板サイズ
- 上面および下面アライメント機能
- 高精度アライメントステージ
- 自動ウェッジ補正シーケンス
- 電動式およびレシピ制御の露光ギャップ
- 最新のUV-LED技術に対応
- 最小限の装置フットプリントと設備要件
- ステップバイステップのプロセスガイダンス
- リモート技術サポート
- マルチユーザーコンセプト（ユーザーアカウントとレシピの登録数無制限、アクセス権の割り当て、ユーザーインターフェースの多言語対応）
- 迅速な処理と切替時のツール交換
- テーブルトップタイプまたはスタンドアローンタイプ（グラナイト製防振台付き）
- 追加機能：
- ボンドアライメント
- IRアライメント
- ナノインプリント・リソグラフィ（NIL）
技術データ
| アライメントモード |
|---|
| 上面アライメント： ≤ ± 0,5 µm |
| 下面アライメント： ≤ ± 2,0 µm |
| IRアライメント：≤ ± 2.0 µm（基板材料による） |
| ボンドアライメント：≤ ± 2,0 µm |
| NILアライメント： ≤ ± 2,0 µm |
| 露光源 |
|---|
| 水銀光源 / UV LED光源 |
| ウェッジ補正 |
|---|
| 水銀光源 / UV LED光源 |
| ウェーハ径（基板サイズ） |
|---|
| 最大100 / 150 / 200 mm |
| 露光設定 |
|---|
| バキュームコンタクト / ハードコンタクト / ソフトコンタクト / プロキシミティモード |
| 露光オプション |
|---|
| インターバル露光 / 全面露光 / セクター露光 |
| 高度なアライメント機能 |
|---|
| マニュアルアライメント / in-situアライメント検証 |
| マニュアルクロス補正 |
| ラージギャップアライメント |
| システム制御 |
|---|
| オペレーティングシステム：Windows |
| ファイル共有およびバックアップソリューション / レシピおよびパラメータ数が無制限 |
| 多言語対応ユーザーGUIおよびサポート：CN、DE、FR、IT、JP、KR |
| リアルタイムリモートアクセス、診断およびトラブルシューティング |
| ナノインプリント・リソグラフィ技術 |
|---|
| UV-NIL |
Talk to our EVG product experts!
Questions?
Related technologies
Questions about our products and technologies?
Contact the EVG experts