EVG® NILPhotonics® コンピテンスセンター

革新的フォトニックデバイスの開発・製造を実現

EV Group製品情報プロセス開発サービスNILPhotonics®コンピテンスセンター

イントロダクション

EVG®NILPhotonics®コンピテンスセンターは、 EVGが長年をかけて蓄積したプロセスノウハウと EVG製装置を活用し、フォトニクス市場の多様なニーズに対応するパートナーシップ型の企業サポートモデルです。EVGは業界が共通に抱える課題をお客様と共に克服し、革新的なフォトニックデバイスやアプリケーションを最速で市場に展開するための業界パートナーシップの発展を目指しています。 特に私たちが注力するのは、フォトニクス関連のビジネスパートナーの皆様に、これまでEVGが多くの新型フォトニックデバイス向けに実現してきたソリューションをベースとしたNIL技術を活用していただくことです。 テンプレートやレジスト、そして各種の計測技術などを含む、NILの基幹技術を全て結集したグローバルパートナーネットワークで、お客様のプロセス統合と最適化をサポートします。各専門領域に精通した EVGの精鋭チームが、各種素材の相互作用や界面化学に対する深い知識を提供し、実証実験の初期段階から量産展開に至るまでのプロセスや装置に対する要件を満たしていきます。 これらをもって、EVG®NILPhotonics®コンピテンスセンターでは、プロセス開発からパイロット生産の立ち上げにかけて、適切な技術的アドバイスや必要なサポートを行うことが可能となっています。

NILPhotonicsコンピテンスセンターではさらに、EVG S&Rマスタリングショップとして、大面積のステップ&リピート・ナノインプリント・マスターとスタンプの製造を請け負うサービスを行っています。これらのステップ&リピート・マスターは、ウェーハレベルやパネルレベルのナノインプリント・リソグラフィ(NIL)製造向けに最適です。EVG S&Rマスタリングショップは、より大きな基板でのプロセスをコスト効率良く行うことを可能にし、NIL技術を量産へ展開するスピードを加速します。ステップ&リピート・マスター製造関連の設備を所有することに対して、今までお客様が感じていた開発と投資へのリスクをこのサービスによって解消し、お客様は最終製品開発と生産に、より一層注力することができます。このようにして、お客様はNILテクノロジーを新しい製品デザインに容易に取り入れることができ、研究開発から大量生産までの迅速で費用対効果の高いスケーリングを可能にします。

特徴

  • マスターテンプレート開発と EVG S&R MasteringShop™でのマスター製造
  • UVナノインプリント及びUVモールディング
  • プロトタイプ / 試作品製作
  • インプリントプロセス検証と試作のための計測技術
  • 材料検証と最適化

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