EVG® LED光学露光

エネルギー消費量が少なく、光源寿命の長い、直径200mmまでの基板をサポートする新しい高品質で高い照度均一性を誇るLED光源露光。

LED UV Exposure Optics

 

長年に渡って、水銀ランプはマスクアライナーの要求に十分な照射強度を提供することができる唯一の光源でした。しかし、UV-LEDは近年の改良により、標準設計の水銀ランプと同等の照射強度を提供することが可能になりました。また、発光スペクトルは、i線、g線およびh線のレジストに対して高い強度を示します。さらに、単一スペクトル線は、最適な露光のために個別に調整することが可能です。

LED露光の利点:

  • 即時オン/オフ
  • 長い光源寿命
  • 低消費電力
  • 窒素冷却が不要
  • 個別に調整可能な排出ライン
  • 低い運転費と維持費


これらの利点は、水銀ランプの性能と比較しても劣ることなく提供することが可能です。

比較 マトリックス

   Mercury Lamp  LED Lamp
WavelengthStandard emission spectrum (i-, g-, h-line), filters to select specific linesConfigurable for i-line only, g- and h-line only or broad band (i-, g- and h-line)
Wafer SizeUp to 200 mmUp to 200 mm
Uniformity<4%<4%
MaintenanceHigh, regular changes of the lamp are neededLow, no scheduled LED replacement or adjustment
Heat EmissionHigh, N2 or CDA cooling required, exhaust requiredLow, no active N2 or CDA cooling required, no exhaust required
EnvironmentMercury, high energy consumption, hazardous materialSolid State LED, low energy consumption
R&D FriendlinessAlways on (recommended), Exposure by shutter open/closeInstant On/Off for exposure only(shutter free)
Operating CostHigh, due to N2 / CDA consumption, exhaust requirement and regular lamp changes by trained maintenance staffLow, no consumables and long lifetime

 

LED光学露光 について、詳しくは以下までお問い合わせください。 webinfo@EVGroup.com