About EVG

会社概要

EV Group(EVG)は、半導体、MEMS、化合物半導体、パワーデバイス、およびナノテクノロジーデバイス分野向けに、幅広い製造装置ラインナップと最先端のウェーハプロセスソリューションを提供するサプライヤーです。
当社は先端パッケージング/ナノテクノロジー向けウェーハ接合およびリソグラフィのマーケットリーダーとして広く知られており、主力製品には、ウェーハ接合装置、薄型ウェーハプロセス装置、リソグラフィ/ナノインプリントリソグラフィ(NIL)装置があります。これらに加え、フォトレジストコーター、クリーナー、検査装置/計測機器なども取り揃え、最先端テクノロジーのリーディングカンパニーとして市場を牽引しています。
EVGは1980年に欧州オーストリアで設立され、アメリカ、日本、韓国、中国、台湾に支社を構えています。世界中のお客様のビジネスを支える技術パートナーとして、全世界に1000人以上の従業員と幅広いサービスネットワークを有しています。
EVGはオーストリア本社、アメリカ支社、そして日本支社であるイーヴィグループジャパンに、最先端のアプリケーションラボとクリーンルームを備えています。これらラボではEVGの最新鋭プロセス技術・ノウハウをご紹介しながら、お客様の製品開発のお手伝いをします。
製造ラインへ新技術をご提供し、お客様のアイデアを現実化・商品化することが私たちの使命です。
 

Vision & Mission
企業理念

invent – innovate – implement
発明、革新、実現

Triple-iと称されるEVGの哲学の源は、全社員によって注がれる新技術開発、技術革新、そしてあらゆる国境、障壁を超える実行力への弛まない情熱です。「新技術の探求、そして、マイクロ・ナノ加工技術の次世代アプリケーションを提供する先駆者であり続ける」というビジョンのもと、私たちは独自の技術を以って、お客様の新規製品開発と商品化をサポートします。

EVGの軌跡

社会へもたらす影響

EVGの製造技術は、「ウェーハ」と呼ばれる、シリコンやガラス(あるいはその他の材料)でできた薄い円盤形状の基板の上に、微細構造を持つ電子部品や光学部品などをはじめ、あらゆる種類のマイクロチップを形成することを可能にします。
EVGの製造装置とその技術は、カメラセンサーチップ、位置センサー、モーションセンサー、マイクロフォン、スマートフォン向けディスプレイ、バーチャルリアリティ向けヘッドセット、ゲーム機などの製造において、世界中のお客様の製造ラインで使用されています。また最近では、最先端の自動車運転アシストシステムのエアバックセンサーや主要コンポーネント、そして病気の早期発見を可能にするDNA分析や臨床血液検査に使われる医療用マイクロ流体チップ等の先進的なバイオメディカル製品にも、EVGの技術が用いられるようになりました。

沿革

1980年にエリック・タルナー、アヤ=マリア・タルナー夫妻によって創設されたEVGは、革新的な発想で最先端かつ高品質な製造装置を開発し、半導体産業とその関連市場における製造装置やプロセスソリューションのグローバルリーディングサプライヤーとしての道を切り拓いてきました。

1985年、世界初の裏面 マイクロスコープを搭載した両面マスクアライナーを開発したことで、EVGは様々なMEMS製品の実用化・商品化を可能にしました 。1990年には、今や業界標準となっているウェーハアライメント(位置合わせ)と接合の工程を分離する独自のプロセスを開発し、ウェーハ接合技術に革命をもたらしました。さらに1992年にはEVGがウェーハ接合分野でのマーケットリーダーとなる基礎を築いた、初のMEMS製造向け量産用ウェーハ接合装置を発表しました。その後も、ウェーハレベルパッケージングおよび3次元積層向けフェイスtoフェイスウェーハアライメント技術「SmartView®」の特許取得(1999年)、業界初の統合型全自動ウェーハ接合装置「GEMINI」の発表(2000年)、ウェーハ仮接合および剥離技術の開発(2001年)、世界初の300㎜基板向け全自動ウェーハ接合装置の発売(2007年)など、技術革新を続けています。2014年7月には「HERCULES®NIL統合型トラックシステム」を発表し、量産現場へのナノインプリントリソグラフィ(NIL)技術の展開を実現しました。
そして、MEMSの新規開発にとってこれまで障害となっていた課題を打破すべく、「ComBond®高真空クラスターツール」を2014年10月に発表。先端基板やパワーデバイスの製造に適した導電性かつ酸化膜のない接合界面を実現し、常温での異種材料同士の接合を可能にする革新的な一歩となりました。2018年12月には、「More Moore」スケーリングとフロントエンドプロセス向け次世代フュージョンウェーハ接合装置「BONDSCALE™」を発表し、IRDSロードマップに示されている将来のロジックトランジスタスケーリングと3次元集積化の課題に挑んでいます。

受賞歴およびお客様からの評価

A selection

PEGASUS in Kristall lifetime achievement award 2020
PEGASUS in Kristall lifetime achievement award 2020
2020 Regionalitätspreis (Regional Prize) in the “industry” category by Austria’s BezirksRundschau magazine
2020 Regionalitätspreis (Regional Prize) in the “industry” category by Austria’s BezirksRundschau magazine
Listed among the “THE BEST” Suppliers of Fab Equipment for the 18th consecutive year
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EVG achieves its highest 10 BEST rating ever
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EVG earns triple crown for 8th year in a row
EVG earns triple crown for 8th year in a row
Global Technology Award – Best Product – Europe for EVG® MLE™ Maskless Exposure Technology - 2019
Global Technology Award – Best Product – Europe for EVG® MLE™ Maskless Exposure Technology - 2019
Austrian Innovation Award 2004 & 2017
Analog Devices Supplier Excellence Award 2015 & 2016
3D InCites Award 2011, 2013 & 2020
A*STAR Institute of Materials Research and Engineering Award
2010 Nanoimprint Technology Product Innovation Award

CSRポリシー

EV Group(EVG)は、社会福祉に貢献し、地球環境に配慮した企業活動を行うことに責任を持って、取り組むグローバル企業です。

地球環境に優しい社会の実現を目指した取り組みを推進しています。国際規格「ISO14001」に基づく環境マネージメントシステムを実践し、地球の資源とエネルギーを大切にし、固形廃棄物や廃水を削減することで、継続的な環境保全に取り組んでいます。

私たちは、企業の社会的責任に関する方針の一環として、労働安全衛生、平等、事故防止、機器の安全性、環境保全、および贈収賄防止や汚職に関するすべての関連法と規制を遵守するとともに、サプライヤー企業様へも同様の方針を遵守するようお願いしています。「RBA(責任ある企業同盟)行動規範」(旧称「EICC行動規範」)を遵守し、2010年制定のドッド・フランク法が定める「紛争鉱物規制」を支持し、労働安全衛生規定 ― 特に児童労働、奴隷制、強制労働等の基本的人権を侵害する行為に関わるサプライヤーからのサービス・商品の授受の禁止を徹底しています。

私たちは、性別、人種、出身民族、ハンディキャップ、年齢、国籍、出身国、セクシュアリティ、宗教そして信念や配偶者の有無、および社会的階級に関わらず、すべての従業員の平等を保証しています。いかなる形態の差別、脅迫、いじめ、嫌がらせ、そしていかなる形態の贈収賄、汚職、恐喝も認めていません。パートタイム、フルタイムまたは、臨時社員を問わず、すべての従業員は、尊厳と敬意をもって公正かつ平等に扱われ、すべての人の多様性が尊重されます。この方針は、採用、研修、キャリア開発から昇進まで、雇用のあらゆる側面に適用されます。雇用、昇進、訓練、諸手当などの判断や選択は、従業員の適性と能力に基づいて行われます。

ISO 9001:2015

2002年にEVGは国際規格である「ISO 9001」に準拠した品質マネジメントシステムの運用を開始しました。2004年に最初の認証を取得し、それ以来この認証は年1回の外部監査により延長・更新されています。

品質マネジメントシステムおよび環境マネジメントシステムは、オーストリア、ザンクトフローリアンに位置するEV Group全ての製品とサービスに適用されます。

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