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About EVG

会社概要

EV Group(EVG)は、半導体、MEMS、化合物半導体、パワーデバイス、およびナノテクノロジーデバイス分野向けに、幅広い製造装置ラインナップと最先端のウェーハプロセスソリューションを提供するサプライヤーです。
当社は先端パッケージング/ナノテクノロジー向けウェーハ接合およびリソグラフィのマーケットリーダーとして広く知られており、主力製品には、ウェーハ接合装置、薄型ウェーハプロセス装置、リソグラフィ/ナノインプリントリソグラフィ(NIL)装置があります。これらに加え、フォトレジストコーター、クリーナー、検査装置/計測機器なども取り揃え、最先端テクノロジーのリーディングカンパニーとして市場を牽引しています。
EVGは1980年に欧州オーストリアで設立され、アメリカ、日本、韓国、中国、台湾に支社を構えています。世界中のお客様のビジネスを支える技術パートナーとして、全世界に1000人以上の従業員と幅広いサービスネットワークを有しています。
EVGはオーストリア本社、アメリカ支社、そして日本支社であるイーヴィグループジャパンに、最先端のアプリケーションラボとクリーンルームを備えています。これらラボではEVGの最新鋭プロセス技術・ノウハウをご紹介しながら、お客様の製品開発のお手伝いをします。
製造ラインへ新技術をご提供し、お客様のアイデアを現実化・商品化することが私たちの使命です。
 

Vision & Mission
企業理念

invent – innovate – implement
発明、革新、実現

Triple-iと称されるEVGの哲学の源は、全社員によって注がれる新技術開発、技術革新、そしてあらゆる国境、障壁を超える実行力への弛まない情熱です。「新技術の探求、そして、マイクロ・ナノ加工技術の次世代アプリケーションを提供する先駆者であり続ける」というビジョンのもと、私たちは独自の技術を以って、お客様の新規製品開発と商品化をサポートします。

EVGの軌跡

社会へもたらす影響

EVGの製造技術は、「ウェーハ」と呼ばれる、シリコンやガラス(あるいはその他の材料)でできた薄い円盤形状の基板の上に、微細構造を持つ電子部品や光学部品などをはじめ、あらゆる種類のマイクロチップを形成することを可能にします。
EVGの製造装置とその技術は、カメラセンサーチップ、位置センサー、モーションセンサー、マイクロフォン、スマートフォン向けディスプレイ、バーチャルリアリティ向けヘッドセット、ゲーム機などの製造において、世界中のお客様の製造ラインで使用されています。また最近では、最先端の自動車運転アシストシステムのエアバックセンサーや主要コンポーネント、そして病気の早期発見を可能にするDNA分析や臨床血液検査に使われる医療用マイクロ流体チップ等の先進的なバイオメディカル製品にも、EVGの技術が用いられるようになりました。

沿革

1980年にエリック・タルナー、アヤ=マリア・タルナー夫妻によって創設されたEVGは、革新的な発想で最先端かつ高品質な製造装置を開発し、半導体産業とその関連市場における製造装置やプロセスソリューションのグローバルリーディングサプライヤーとしての道を切り拓いてきました。

1985年、世界初の裏面 マイクロスコープを搭載した両面マスクアライナーを開発したことで、EVGは様々なMEMS製品の実用化・商品化を可能にしました 。1990年には、今や業界標準となっているウェーハアライメント(位置合わせ)と接合の工程を分離する独自のプロセスを開発し、ウェーハ接合技術に革命をもたらしました。さらに1992年にはEVGがウェーハ接合分野でのマーケットリーダーとなる基礎を築いた、初のMEMS製造向け量産用ウェーハ接合装置を発表しました。その後も、ウェーハレベルパッケージングおよび3次元積層向けフェイスtoフェイスウェーハアライメント技術「SmartView®」の特許取得(1999年)、業界初の統合型全自動ウェーハ接合装置「GEMINI」の発表(2000年)、ウェーハ仮接合および剥離技術の開発(2001年)、世界初の300㎜基板向け全自動ウェーハ接合装置の発売(2007年)など、技術革新を続けています。2014年7月には「HERCULES®NIL統合型トラックシステム」を発表し、量産現場へのナノインプリントリソグラフィ(NIL)技術の展開を実現しました。
そして、MEMSの新規開発にとってこれまで障害となっていた課題を打破すべく、「ComBond®高真空クラスターツール」を2014年10月に発表。先端基板やパワーデバイスの製造に適した導電性かつ酸化膜のない接合界面を実現し、常温での異種材料同士の接合を可能にする革新的な一歩となりました。2018年12月には、「More Moore」スケーリングとフロントエンドプロセス向け次世代フュージョンウェーハ接合装置「BONDSCALE™」を発表し、IRDSロードマップに示されている将来のロジックトランジスタスケーリングと3次元集積化の課題に挑んでいます。

受賞歴およびお客様からの評価

A selection

Global Technology Award – Best Product – Europe for EVG® MLE™ Maskless Exposure Technology - 2019
Global Technology Award – Best Product – Europe for EVG® MLE™ Maskless Exposure Technology - 2019
Austrian Innovation Award 2004 & 2017
EVG earns triple crown for 8th year in a row
EVG earns triple crown for 8th year in a row
EVG achieves its highest 10 BEST rating ever
EVG achieves its highest 10 BEST rating ever
Listed among the “THE BEST” Suppliers of Fab Equipment for the 18th consecutive year
Listed among the “THE BEST” Suppliers of Fab Equipment for the 18th consecutive year
Analog Devices Supplier Excellence Award 2015 & 2016
3D InCites Award 2011, 2013 & 2020
A*STAR Institute of Materials Research and Engineering Award
2010 Nanoimprint Technology Product Innovation Award

CSR情報

EV Group(EVG)は、社会福祉に貢献し、地球環境へ配慮した企業活動を行うことを自らの使命の1つとしています。これを実践していくために、2009年、国際規格「ISO14001」に基づく環境マネジメントシステムを既存の品質管理システムに組み込むことを決定し、2010年5月に同規格の認証を取得しました。

私たちは、資源やエネルギーを大切にし、廃棄物を減らすなど、絶えず環境の改善に取り組んでいます。環境マネジメントシステムの導入以来、EVGは環境保全において積極的な役割を果たすだけでなく、同時に経営コストの削減も達成してきました。 私たちは、環境保護と経済活動は相反するものではなく、互いに補完し合うものであることを実証しています。

私たちは、環境保全、労働安全衛生、事故防止、輸送および機器の安全性に関するすべての関連法および規制を遵守するとともに、この価値観をサプライヤー企業様とも共有し、共に問題に取り組んでいます。 私たちは、「RBA(責任ある企業同盟)行動規範」(旧称「EICC行動規範」)を遵守し、2010年制定のドッド・フランク法が定める「紛争鉱物ルール」を支持し、労働安全衛生規定 ―特に児童労働、奴隷制、強制労働等の基本的人権を侵害する行為に関わるサプライヤーからのサービス・商品の授受の禁止を徹底しています。

私たちは、性別、人種、出身民族、ハンディキャップ、年齢、国籍、出身国、セクシュアリティ、宗教そして信念や配偶者の有無、および社会的階級に関わらず、すべての従業員の平等を保証しています。 いかなる形の差別、脅迫、いじめ、嫌がらせも許容されません。 パートタイム、フルタイムまたは臨時社員を問わず、すべての従業員は尊厳と敬意をもって公平かつ平等に扱われ、すべての人の多様性が尊重されます。 この方針は、採用、研修、キャリア開発から昇進まで、雇用のあらゆる側面に適用されます。 雇用、昇進、研修、その他の便益に関する判断や選択は、候補者の適性と能力に基づいて公平に行われます。

ISO 9001:2015

2002年にEVGは国際規格である「ISO 9001」に準拠した品質マネジメントシステムの運用を開始しました。2004年に最初の認証を取得し、それ以来この認証は年1回の外部監査により延長・更新されています。

品質マネジメントシステムおよび環境マネジメントシステムは、オーストリア、ザンクトフローリアンに位置するEV Group全ての製品とサービスに適用されます。

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