CEZAMAT stärkt die Forschung und Entwicklung zukunftsweisender Photonik-Anwendungen mit einem fortschrittlichen UV Nanoimprint System von EV Group

Neue EVG®6200 NT Plattform ermöglicht die skalierbare Herstellung der nächsten Generation von Mikro und Nanostrukturen mit hoher Auflösung

Das EVG®6200 NT Mask Alignment System mit UV‑Nanoimprint‑Funktionalität, ausgestattet mit der proprietären SmartNIL®‑Technologie von EVG, im Reinraum.

Das EVG®6200 NT Mask Alignment System mit UV‑Nanoimprint‑Funktionalität, ausgestattet mit der proprietären SmartNIL®‑Technologie von EVG, im Reinraum.

Das EVG®6200 NT Mask Alignment System mit UV‑Nanoimprint‑Funktionalität, ausgestattet mit der proprietären SmartNIL®‑Technologie von EVG, im Reinraum.

Das EVG®6200 NT Mask Alignment System mit UV‑Nanoimprint‑Funktionalität, ausgestattet mit der proprietären SmartNIL®‑Technologie von EVG, im Reinraum.

WARSCHAU, Polen und ST. FLORIAN AM INN, Österreich, 21. April 2026 – CEZAMAT, ein international führendes Forschungszentrum für fortschrittliche Materialien und Technologien, und EV Group (EVG), ein führender Anbieter von innovativen Prozesslösungen und Know-how zur Umsetzung zukunftsweisender Halbleiterdesigns und Ansätzen zur 3D-Integration von Mikrochips, gaben heute bekannt, dass die Forschungsinfrastruktur von CEZAMAT durch die Installation eines neuen EVG®6200 NT SmartNIL® UV‑Nanoimprint‑Lithographiesystems erweitert wurde.

Das EVG6200 NT System bietet modernste Maskenausrichtungstechnologie in Kombination mit industrieweit führenden UV‑NIL-Fähigkeiten. Die von EVG entwickelte SmartNIL‑Technologie basiert auf wiederverwendbaren Soft-Stamps und ermöglicht einen unübertroffenen Durchsatz sowie eine hohe Skalierbarkeit bei gleichzeitiger Unterstützung der Erzeugung hochauflösender und stark topografischer Strukturen.

In den Laboren von CEZAMAT wird das EVG6200 NT System für die Replikation und Skalierung einer Vielzahl speziell entwickelter Mikro‑ und Nanostrukturen eingesetzt. Dazu zählen diffraktive optische Elemente sowie verschiedene mikrooptische Komponenten wie z.B. Linsen, Wellenleiter und Gitterstrukturen für den Einsatz in photonischen, integrierten Schaltungen, Detektoren und Freiformoptiken.

„Wir sind davon überzeugt, dass diese Investition im Rahmen des Projekts des Kompetenzzentrums für Mikroelektronik und Photonik, das aus dem National Recovery and Resilience Plan (KPO) finanziert wird, unsere Fähigkeiten erweitern, unsere Kooperationen stärken und CEZAMAT weiter als führende Forschungs- und Entwicklungseinrichtung im Bereich der Nanotechnologie etablieren wird. Unsere Erwartungen sind hoch und wir nehmen diese bedeutende Erweiterung unserer technischen Ausstattung mit großer Begeisterung in Angriff“, erklärte Piotr Wiśniewski, Research Assistant Professor und Leiter des Intelligent Semiconductor Systems Departments (SEMINSYS) bei CEZAMAT.

Dr. Thomas Glinsner, Corporate Technology Director bei EV Group, ergänzte: „Wir sind stolz darauf, CEZAMAT beim Ausbau seiner Kompetenzen zu unterstützen und auf mehr als ein Jahrzehnt erfolgreicher Zusammenarbeit aufzubauen. Europa bleibt ein zentraler Knotenpunkt für Innovationen im Halbleiter‑ und Photonikbereich, und Institute wie CEZAMAT spielen eine entscheidende Rolle bei der Weiterentwicklung der Fertigungsverfahren für Devices der nächsten Generation in der gesamten Region.“

Über CEZAMAT

Das Centre for Advanced Materials and Technologies CEZAMAT ist ein multidisziplinäres Forschungs‑ und Entwicklungszentrum in Europa, das gegründet wurde, um fortschrittliche wissenschaftliche Forschung effektiv mit der industriellen Umsetzung und Kommerzialisierung zu verbinden. Als Flaggschiff‑Forschungszentrum der Technischen Universität Warschau agiert CEZAMAT an der Schnittstelle von Industrie, Wissenschaft und Staat und fungiert als Katalysator für transformative Veränderungen, die der Gesellschaft zugutekommen und die technologische Souveränität des Landes in strategischen Dual‑Use‑Bereichen stärken. Die Expertise von CEZAMAT umfasst Halbleiter, Photonik, mikroelektronische Technologien sowie Biotechnologie und Bioengineering. Mit Sitz im Herzen Europa verfügt CEZAMAT über hochmoderne Einrichtungen in Warschau, die fortschrittliche Forschung, Prototyping, Technologievalidierung sowie die Fertigung kleiner bis mittlerer Losgrößen ermöglichen. Weitere Informationen unter https://cezamat.pw.edu.pl/home/

Über EV Group (EVG)

EV Group (EVG) provides innovative process solutions and expertise that serve leading-edge and future semiconductor designs and chip integration schemes. The company’s vision of being the first in exploring new techniques and supporting next-generation applications of micro- and nanofabrication technologies enables customers to successfully commercialize new product ideas. EVG’s high-volume-manufacturing-ready products, which include wafer bonding, lithography, thin-wafer processing and metrology equipment, enable advances in semiconductor front-end scaling, 3D integration and advanced packaging, as well as in other electronics and photonics applications. More information at www.EVGroup.com

Kontakte:

Clemens Schütte
Director, Marketing and Communications
EV Group
Tel: +43 7712 5311 0
E-mail: Marketing@EVGroup.com

David Moreno
Principal
Open Sky Communications
Tel: +1.415.519.3915
E-mail: dmoreno@openskypr.com