ナノインプリントリソグラフィ

装置

EVG はナノインプリントリソグラフィ( NIL )の 3 つの主要エリアにてソリューションを提供しています。

  • ホットエンボス( HE
  • UV ナノインプリントリソグラフィ (UV-NIL)
  • マイクロコンタクトプリント( µ-CP


EVG は柔軟で費用対効果の高いマイクロおよびナノ加工向けの装置を提供しています。装置とプロセスの専門知識に基づき、様々な技術の実装を実現します。