EV Group製品情報ウェーハ接合装置

ウェーハ接合装置

EVGはウェーハ接合装置の設計と製造における豊富な経験を活かしてウェーハ接合の業界標準を作り出すことで広く知られています。EVGウェーハ接合装置は、研究開発から製品試作、量産向けの製造、さらには、高度な低温共有結合を含む直接接合用や中間層ベースの接合プロセス用に必要なモジュールを柔軟に組み合わせることができます。EVGは幅広い技術と装置ポートフォリオによって、先端パッケージングや3次元集積化、MEMS製造、そして先端化合物半導体やSOI基板製造の市場を独占しています。

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