製品情報

EVGのリソグラフィ技術を代表する装置には、高スループットを誇るコンタクト/近接露光マスクアライメント装置や近年発表された革新的で幅広い用途に対応するマスクレス露光装置などがあります。

EVGは、ナノインプリント・リソグラフィ（NIL）装置とその実装技術において、市場をリードするサプライヤーです。15年以上の研究を積み重ね、2インチの化合物半導体ウェーハから300 mmウェーハ、さらには大面積パネルに至るまでのNIL技術を確立し、その技術は今日、さまざまな基板サイズでの量産向けに使用されています。

EVGはウェーハ接合装置の設計と製造における豊富な経験を活かしてウェーハ接合の業界標準を作り出すことで広く知られています。

ウェーハ検査・測定用のEVG計測ソリューションは非破壊測定方法を採用しており、リソグラフィ、およびすべてのタイプの接合アプリケーション向けに設計されています。EVGの検査・計測器は自動統合型プロセス装置の一部として組み込むタイプ、または、複数の工程で使用できるスタンドアローンタイプ、のいずれか、用途に応じで選択が可能です。

お客様の製品を最短で市場に送り出すために、何よりの決め手となるのはプロセスノウハウです。EVGはプロセス開発の初期段階から量産展開に至るまで、一貫してお客様をサポートしています。