EV集团推出第二代EVG620HBL LED生产光罩定位系统

升级后的 HB-LED 制造工具将带来前所未有的经营成本优势

2012 2 7 —— 晶圆键合及光刻设备领先的供应商 EV 集团 ——主要为先进 半导体及封装、化合物半导体, 微电子机械系统,绝缘硅片( SOI )以及新兴的纳米技术市场供应产品,今天发布 EVG620HBL Gen II—— 第二代全自动 掩模对准系统 ,实现了 高亮度发光二极管的批量生产。 第一代 EVG620HB 发布一年后, Gen II 工具平台的推出满足了 HB-LED 客户的特定需求,以及市场一直以来对降低总所有权成本的需求。此外, EVG620HBL Gen II 优化了晶圆厂的工具封装 —— 与竞争产品相比,每平方米洁净室空间的晶圆产出量提高了 55%

EV 集团业务发展经理 Thomas Uhrmann 博士指出,“ HB-LED 市场是活跃且瞬息万变的,我们的客户需要不断创新的解决方案,以确保其产出和资本投资实现最大化。第二代 EVG620HBL EVG HB-LED 制造中根据专业知识,提供有效解决方案,以快速响应客户需求的产物。成熟平台的建立已成为我们的技术行业标准,加之第一代掩模对准工具的辅助,我们期待着第二代 EVG620HBL 能够 进一步拉大我们的产品与竞争产品之间的差距。 如今, HB-LED 领域五大主要生产商中的四家正在开展 EVG 粘合机和光刻机的生产工作。

面对持续的成本降低和产量增加的需求,设备供应商们需要重新思考他们的总经营成本带来了什么样的效益。这对于光刻掩模对准尤其重要,因为在这一领域产量最大化是实现 LED 技术长远发展的关键。

EVG620HBL Gen II 专为满足大批量制造环境中的客户定制化要求而设计,产品有如下特色:

· 增强型的显微镜可支持自动掩模图形搜索,从而进一步降低了掩模的设置与更换时间 —— 这两项改进对于支持大批量制造环境( HVM )环境中的连续设备生产非常关键;

· 升级后的机器人处理版图设计具有晶圆映射功能,这为晶圆可追溯性方面的需求提供了支持;

· 对准能力(行对齐)有所提升,利用标记单个 LED 的网格进行定位,而不是需要那些占用晶圆上的宝贵空间的对准标记;

· 减少了系统占用,从而优化了操作的总拥有成本,并增加了每足迹晶圆指数。

与竞争产品相比 , EVG620HBL Gen II 的这些主要的功能增强优势降低了 20% 的加工晶圆单位成本。

 

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  EVG620HBL 系列是在 EVG 已证实的掩模对准平台的基础上开发的,主要采用高强度紫外线( UV )灯源和可选过滤器风扇单元,以最大限度地提高产量,实现业界最高的晶圆生产量——每小时 165 个六英寸晶圆(第一批印刷模式为每小时 220 晶圆)。 EVG620HBL 的另一个重要特点是配有特殊配方控制的显微镜,其照明光谱可以改变和优化,以确保在对比不同晶圆及层材料时的最佳模式,其中包括先进基板材料,如蓝宝石、碳化硅( SiC )、氮化铝( AIN )、金属和陶瓷。 EVG620HBL 系列可加工 2 6 英寸晶圆。

关于 E VG

EVG 是世界领先的半导体、微机电系统和纳米技术应用的晶片加工解决方案供应商。 通过与其全球客户紧密合作, EVG 实行灵活的生产模式,开发可靠的具备高品质和低购置成本的系统产品,并能够轻松集成入客户的生产线。 其主要产品包括 晶圆键合、光刻 / 纳米压印光刻( NIL )和计量设备,以及光阻涂布机、清洁器和检验系统等。

除了在晶圆片键合机市场上占有主导份额外, EVG 还在高级封装和微机电系统( MEMS )的纳米压印光刻( NIL )和光刻技术领域占据领先地位。除了这些生产线之外, EVG 2006 年与他人共同创办了 EMC-3D 财团,以创建并帮助推动用于主要集成电路( IC )和微机电系统( MEMS / 传感器的、具有成本效益的硅直通孔( TSV )工艺的实施。其他半导体相关目标市场包括硅绝缘体( SOI )、复合半导体和以硅为基础的功率元件解决方案。

EVG 成立于 1980 年,总部设在奥地利的圣弗洛里安市( St. Florian ),通过一个全球性的客户支持网络进行运营,在亚利桑那州的滕比市( Tempe )、纽约州的奥尔巴尼市( Albany )、日本的横滨和福冈、韩国的首尔市以及台湾的中坜市设有分公司。 EVG 独特的三 “I” 方法( invent - innovate – implement ,即发明 - 创新 - 实施)由垂直整合提供支持,让 EVG 能够快速响应各种新技术进展,应用技术来应对制造方面的各种挑战,并加快大批量器件的生产。欲知更多信息,请登录 www.EVGroup.com


联系方式:
Clemens Schütte 
市场公关部总监  
EVG 集团  
电话 : +43 7712 5311 0 
E-mail: Marketing@EVGroup.com 

Brandy Lee
客户总监´
MCA公司
电话 +1.650.968.8900, 129
E-mail: blee@mcapr.com

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