EV GROUP, 로직 및 메모리 반도체의 고급 패키징 공정에 사용되는 양산 제조용 포토레지스트 공정 시스템 발표

EVG ® 150XT, EV GROUP 리소그래피 ( 노광 ) 전문 기술 XT 프레임 플랫폼이 결합된

리소그래피 업계 최초의 양산용 시스템으로 미드엔드 백엔드 배선 공정에 이용

2014 2 12 - MEMS , 나노 기술 , 반도체 시장의 웨이퍼 본딩 리소그래피 장비 선도적인 공급 업체인 EV Group ( EVG) 현재 로직 메모리 대량 생산에 필요한 가장 진보된 300mm 포토레지스트 처리 시스템인 EVG150XT(HVM) 개발했다고 발표했다 . EVG XT 프레임 플랫폼을 활용한 장비를 통해 업체들이 선도적이며 다양한 공정에 걸쳐 이용할 있도록 EVG150XT 매우 높은 처리량 생산성 있어서 최적화되어 있다 . 이로써 회사의 리소그래피 전문 공정 지식을 결합하여 양산에 적합한 시스템을 선보이게 됐다 . EVG150XT 일반적인 PR 코팅 공정 , 유전체 막의 코팅 공정과 MEOL( mid-end-of-line) 사용되는 높은 두께의 PR 코팅 공정 BEOL( back-end-of-line) 반도체 공정에 사용되는 응용기술인 실리콘 천공 기술 ( TSV), 웨이퍼 범핑 , 재배포 2.5 3D -IC 인터포저 (interposer) 패키지 제조 공정 등에 다양하게 사용 있다 .

EVG_150XT-HVM-Resist-Processing-System  EVG®150XT Automated Resist Processing System
Download

2.5/3D 패키징은 반도체 산업 전반에 있어서 생산 가능성이 점점 증가하고 있고 , 작은 면적에 다양한 기능의 칩을 적층할 있으므로 모바일 장치 기타 소비자 전자 제품에 다양하게 적용될 있다 . 새로운 제조 공정 비용 절감 요건은 웨이퍼 제조 공정에 전반에 걸쳐 요구되고 , 특히 MEOL BEOL 공정 부분에서 요구되고 있다 . 앞으로도 소자 제작에 있어 갈수록 작은 칩간의 간격 구리 기둥 등의 제조 공정이 필요하게 되고 , 언더 범프 (under bump) 금속 기술을 응용하여 칩간 (chip-to-chip) 연결을 가능하게 하고 , 재분배 형성 이종의 디자인이 적용된 소자들의 연결은 반도체 제조 공정 상에 균일하며 엄격한 기준들이 필요하게 된다 . 산업 전반에 걸쳐 적층 소자를 대량 생산 하는 방식이 요구되며 , 이러한 소자를 제조하는 사용되는 웨이퍼 공정 장비는 모두 향상된 처리량과 처리 능력을 필요로 하게 된다 .

EVG150XT 다중의 병렬 웨이퍼 처리를 위해 동시에 장착할 있는 9 개의 공정 모듈을 제공한다 . 최적화된 소프트웨어를 통해 공정 처리 양을 최적화하며 , 처리 순서 지능적으로 제어하고 , 최적의 펌프 디스펜스 시스템 (dispense system) 높은 두께 필름의 공정 적용에 적합하게 설계되어 있다 .

또한 , In-line metrology module 결함 증가 수율 생산 비용 줄이기 위해 실시간으로 공정의 최적화를 가능하게 하고 , 공정 결함 종류 검출 있도록 EVG150XT 통합 되었다 . 이러한 소프트웨어와 하드웨어 향상된 기능 대량 생산 환경에 적합 하도록 EVG150XT 최적화 하여 사용 있게 한다 .

EV Group 린드너 (Paul Lindner) 수석 기술 이사는 지난 30 동안 EVG 리소그래피 양산 장비에 관련하여 고객들과 긴밀히 협력하고 , 고객들의 요청을 받아 다음 세대 제품 개발에 참고하여 , 성능을 향상시킬 있도록 하는 효과적인 공정 노하우를 확보하였다 . EVG 최신 제품 정보 EVG150XT 보면 , EVG MEOL/BEOL 리소그래피 공정기술에 대해 고객이 필요로 하는 요구사항에 최대한 맞출 있도록 업계 최초의 양산 리소그래피 공정을 도입해서 , 가지 전문적 기술 분야에 대한 결합을 성공적으로 이끌어 내었다 말했다 .

대량 양산 기능을 가진 EVG 사의 포토레지스트와 리소그래피 최신 장비 개발에 대해 관심을 가지고 있는 기자 애널리스트는 2 12 일부터 14 일까지 COEX 에서 진행되는 SEMICON Korea 전시회 기간 동안 부스를 방문해 장비 관련 상세 정보를 얻을 있다 (C 부스 #1264)

 

EV Group(EVG) 대하여

EV Group(EVG) 반도체 , MEMS, 화합물 반도체 , 전력 소자 나노 기술 소자에 대한 장비 생산뿐 아니라 공정 솔루션 제공 관련하여 최고의 공급 업체이다 . 주요 품목은 photoresist coaters, cleaners and inspection systems 이며 , wafer bonding, thin-wafer processing, lithography/nanoimprint lithography (NIL) metrology 장비 이다 . 1980 년에 설립되었으며 , 세계의 EVGroup 해외 고객들 협력 업체들과 다양하고 면밀한 정보망을 가지고 있으며 , 다양한 고객 사에 도움 지원을 하고 있다 . EVG 대한 자세한 정보는 www.EVGroup.com 확인 가능하다 .


EV Group Contacts:
Clemens Schütte
Director, Marketing and Communications
EV Group
Tel: +43 7712 5311 0
E-mail: Marketing@EVGroup.com

박윤희
실장
페리엔
Tel: 0-565-6625
E-mail: desiree@perrien.co.kr

Download PDF

 

Back