イーヴィグループが旭化成よりナノインプリントリソグラフィ装置を受注

先端パッケージング、半導体、 MEMS 、 SOI やナノテクノロジー分野で用いられるウェーハ接合装置やリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーである EV Group （本社：オーストリア　サンクト・フローリアン、 EVG ）は、高解像度ウェーハレベルオプティクス材料の共同開発を目的として、旭化成イーマテリアルズ株式会社より UV ナノインプリントリソグラフィ装置（ IQ アライナー）を受注したことを発表しました。

UV ナノインプリントリソグラフィ装置（ IQ アライナー）はスマートフォンや Pico Projector 、その他様々なアプリケーションに対応する高解像度ウェーハレベルオプティクス（最大 8 メガピクセル）の量産を可能にする新しいマイクロレンズモールディング技術であるモノリシックレンズモールディング（ MLM ）技術に対応しています。

旭化成イーマテリアルズ株式会社、電子材料事業部長の古川祥一氏は次のように述べています。「当社では携帯電話のカメラレンズ等、主にモバイル機器の光学・ディスプレイ部品用途に、高透明・高耐熱の樹脂を提供しており、昨今のモバイルデバイス市場の成長に伴い、さらなる研究開発を進めております。このたび弊社は、ウェーハレベル UV ナノインプリントの製造装置の最大手であるイーヴィグループの IQ アライナーを、研究開発用途にて導入する事となりました。これにより、弊社 UV 成型材料の開発／プロセス開発に大きく貢献するものと期待しております。」

EV Group 社エグゼクティブ・テクノロジー・ディレクターの Paul Lindner は「常に進化し続けるウェーハレベルカメラ市場において、より競争力のあるソリューションが求められています。旭化成イーマテリアルズ様に装置を納品することによって、材料の開発スピードが加速し、ウェーハレベルカメラ市場が飛躍的に成長することを期待しております。」と述べています。　

IQ Aligner Download

< 旭化成イーマテリアルズ株式会社について >

旭化成イーマテリアルズ株式会社は、旭化成グループ内の半導体実装材料、表示材料、電池材料など、化学技術をベースにしたエレクトロニクス材料事業を集約・統合し、経営資源の集中投入とスピード経営の推進、製品・サービスの両面から更なる顧客価値創造への貢献を目指し 2009 年 4 月に設立された企業です。

半導体保護膜の材料となる感光性ポリイミド樹脂「パイメル」、プリント基板などに使う超極薄ガラスクロス、エポキシ樹脂用潜在性硬化剤「ノバキュア」、感光性ドライフィルムレジスト「サンフォート」、フォトマスク用防塵フィルム「ペリクル」、リチウムイオン 2 次電池用セパレータ「ハイポア」など半導体実装材料、表示材料、エネルギー材料領域の各製品で高いシェアを誇っています。

研究開発においても、独創的な先端技術をスピーディーに生み出すべくマーケットに密着した洞察力と機動力を活かし、ユニークなエレクトロニクス材料をいち早く生み出す体制を整えておりこれからもグローバルに先端材料を提供していきます。

<EV Group について >

EV Group (EVG) は、半導体、 MEMS 、ナノテクノロジーなどアプリケーションのためのウェーハプロセス装置のグローバルサプライヤーです。世界中のお客様と協力し、精度や柔軟性の高い、低コストの装置を提供しています。ウェーハ接合、露光 / ナノインプリントリソグラフィ、計測技術に関連した装置のほか、レジスト塗布装置、ウェーハ洗浄装置、検査装置とバラエティに富んだ製品を提供しています。

ウェーハボンダーにおける圧倒的シェアを持つ EVG は、 NIL や先端パッケージング、 MEMS の市場でもリーダーとしての位置を確立しています。また EMC3D コンソーシアムを 2006 年に発足し、 IC や MEMS/ センサーでの活用が期待される TSV プロセス生産の低コスト化を目標としています。
その他の半導体関連の市場では SOI や化合物半導体、パワーデバイスのソリューションも提供しています。

1980 年に設立した EV Group は、オーストリアのサンクト・フローリアンの本社を拠点に、米国アリゾナ州テンペ、ニューヨーク州アルバニー、日本の横浜と福岡、韓国のソウル、台湾の中歴（ Chung-Li ）にある、各支店のグローバル・カスタマー・サポート・ネットワークにより業務を展開しています。
当社の活動指針（ MISSION ）であるトリプルＩ（アイ）による実践法（ invent ：発明 - innovate ：革新 -implement ：実践）は、最新技術への迅速な対応、技術を製造へ適用する試み、デバイスの量産促進といった技術の垂直融合によって支えられています。詳しくは当社ホームページをご覧ください。 (www.EVGroup.com )