モノリシック・レンズ・モールディング（ MLM
）により 8
メガピクセル以上の高解像度デバイスの製造が可能に
セミコンジャパン、日本
2010
年 12
月 1
日－先端パッケージング、半導体、 MEMS
、 SOI
やナノテクノロジー分野で用いられるウェーハ接合装置やリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーである EV Group
（ EVG
）は、スマートフォンや Pico Projector
、その他様々なアプリケーションに対応する高解像度ウェーハレベルオプティクス（最大 8
メガピクセル）の量産を可能にする新しいマイクロレンズモールディング技術を開発しました。
この新しいモノリシックレンズモールディング（
MLM
）技術は、 EVG
のプロセスチームにより開発され、弊社の IQ
アライナー UV
ナノインプリントリソグラフィ装置、その他現存する装置での使用が可能です。すでに MLM
オプションが搭載されている IQ
アライナーの受注も決定しました。
携帯電話のサイズ上、携帯電話用カメラの大きさには限界があり、より小さく解像度の高い、低コストのカメラモジュールの需要は高まるばかりです。この要求を満たすため、
CMOS
イメージセンサーやマイクロオプティクスのウェーハレベル製造への移行が加速化しています。同時に、より高解像度による高いパフォーマンスを実現するためには、より複雑なオプティカルシステム製造が必要になり、製造条件も必然的に厳しいものになります。
ウェーハレベルでのカメラの製造では、通常ガラス製スペーサー基板上にオプティカルポリマー材料でレンズを構築する方法が使用されます。異種材料を組み合わせることで、解像度や写真の質に限界が生じ、カメラ自体の品質にも影響します。これらの問題を解決するため、
EVG
の MLM
技術はガラス基板を使用せず、二枚のスタンプの間にポリマーをモールドし、 EVG
の IQ Aligner
にて UV
によりキュアします。これにより、オプティクスとレンズを重ね合わせるデザインではなく、薄型レンズウェーハやレンズスタックの製造が可能になりました。
また、
IQ Aligner
はマイクロレンズを室温でモールドするため、様々な材料のオプティカルレンズを高精度で露光でき、デバイスのパフォーマンスを飛躍的に向上する事ができます。
EV Group
の Technology development
及び IP
の Director
である Markus Wimplinger
は、「常に進化し続けるウェーハレベルカメラ市場において、より競争力のあるソリューションが求められています。先端技術をリードするノウハウや技術は、製造業界においてサプライヤーを選ぶうえでとても重要な要素になります。我々の新しい MLM
技術は、これからのウェーハレベルマイクロレンズ製造における可能性を広げ、お客様により柔軟性のあるデザインや製造ロードマップを提供する事ができます。モノリシックレンズモールディングの量産を可能にした最初のサプライヤーとして、 EV Group
はウェーハレベルカメラ市場にてリーダーシップを取っていきたいと考えています。」と話します。
IQ Aligner
や、 MLM
技術にご興味のある方は、 2010
年 12
月 1
日から 3
日間行われるセミコンジャパン 2010
の弊社ブース（ 4A-507
）まで是非お越しください。
EVGroup
は、 2010
年度の総利益が前年度より 20
％アップした、と発表しました。この成長の背景には、 3DIC
ｓ、 CMOS
イメージセンサー、 MEMS
デバイス用装置の需要が引き続き高まった事があります。実際、 2008
年から 2009
年の世界恐慌の際にも利益を損なう事無く、順調に成長を続けておりました。
<About EV Group>
EV Group (EVG)
は、半導体、 MEMS
、ナノテクノロジー等アプリケーションの為のウェーハプロセス装置のグローバルサプライヤーです。世界中のお客様と協力し、精度や柔軟性の高い、低コストの装置を提供しています。ウェーハ接合、露光 /
ナノインプリントリソグラフィ、計測技術に関連した装置のほか、レジスト塗布装置、ウェーハ洗浄装置、検査装置とバラエティに富んだ製品を提供しています。
ウェーハボンダーにおける圧倒的シェアを持つ
EVG
は、 NIL
や先端パッケージング、 MEMS
の市場でもリーダーとしての位置を確立しています。また EMC3D
コンソーシアムを 2006
年に発足し、 IC
や MEMS/
センサーでの活用が期待される TSV
プロセス生産の低コスト化を目標としています。
その他の半導体関連の市場では
SOI
や化合物半導体、パワーデバイスのソリューションも提供しています。
1980
年に設立した EV Group
は、オーストリアの St. Florian
の本社を拠点に、米国アリゾナ州
Tempe
、ニューヨーク州 Albany
、日本の横浜と福岡、韓国のソウル、台湾の中歴（ Chung-Li
）にある、各支店のグローバル・カスタマー・サポート・ネットワークにより業務を展開しています。
当社の活動指針（
MISSION
）であるトリプルＩ（アイ）による実践法（ invent
：発明 - innovate
：革新 - implement
：実践）は、最新技術への迅速な対応、技術を製造へ適用する試み、デバイスの量産促進といった技術の垂直融合によって支えられています。
詳しくは当社ホームページをご覧ください。 (www.EVGroup.com )
Contacts:
Clemens Schütte
Director, Marketing and Communications
EV Group .
Tel: +43 7712 5311 0
E-mail: Marketing@EVGroup.com
Brandy Lee
Account Director
MCA, Inc
Tel: +1.650.968.8900, ext. 129
E-mail: blee@mcapr.com