高品質な表面処理により、III-V族化合物材料と
シリコンウェーハの貼り合わせがボイド無しで可能に
MEMS、ナノテクノロジー、半導体分野において、ウェーハ貼り合わせ装置およびリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーであるEV Group（本社：オーストリア サンクト・フローリアン、EVG）は、イーヴィグループジャパン株式会社（本社：神奈川県横浜市、以下イーヴィグループジャパン）が、国立大学法人東京大学（所在地：東京都文京区、以下東京大学）に化合物半導体研究用途としてメガソニックウェーハ洗浄装置EVG301を納入したことを発表しました。
東京大学、高木・竹中研究室に設置されたEVG301は、ガリウムヒ素、インジウムリン、インジウムガリウムヒ素(GaAs、InP、InGaAs)などのIII-V族化合物材料をシリコンウェーハに接合する前に、ウェーハ表面からパーティクルを完全除去することに特化した洗浄装置です。
本研究室では大規模集積回路（LSI）デバイスに化合物半導体材料を取り入れた新しい半導体トランジスタの開発に研究の主眼を置き、従来のシリコン材料では困難とされている22nmノード以降の微細化限界を克服しようとしていますが、本装置はこうした研究を加速するために用いられます。
「半導体デバイスの小型化は物理的限界に達しており、ムーアの法則に従った伝統的スケーリングでは、高性能LSIデバイスに対する今後の要求に十分応えることができません。私たちがシリコンとIII-V族化合物半導体を組み合わせた新材料を評価し続けていることは、次世代のスケーリングで要求されるデバイス性能に対応していくための、次なる突破口を創り出すためです。この研究をサポートするため、ボイドの発生を抑え良質なウェーハ接合が実現できるEV Groupのメガソニックウェーハ洗浄装置EVG301を採用しました」と東京大学、高木・竹中研究室の横山正史研究員は述べています。
この発表に際し、イーヴィグループジャパン代表取締役・大塚祐一は、「東京大学における最先端LSIデバイスの研究をサポートできる機会を得たことは大変喜ばしいことです。高木・竹中研究室では、半導体産業が直面しているシリコンのみを使った従来のスケーリングには限界があると考え、非常に重要な研究領域に投資をしています。EV Groupでは設立以来、常に研究開発分野に対し多大なサポートを行っており、革新を推し進めるために今後も可能な技術提供を続けていきます」と述べています。
低消費電力、高性能、高機能チップへのニーズに対応し続けるため、半導体産業は純粋なシリコンベースウェーハを超えて、シリコンと新材料の組み合わせから得られるメリットを評価していく必要があります。この転換は、将来における化合物半導体市場の成長と共に、最高のエンドデバイス性能を実現するためのより効果的な製造技術への道筋となります。たとえば、II-VI族やIII-V族材料の薄膜フィルムをヘテロエピタキシャル成長によって堆積するMOCVDプロセスでは、欠陥のあるウェーハができる可能性があります。これはウェーハ表面の品質にかかわり、最終的にはエンドデバイス性能にも影響を与えます。ウェーハ接合によりこの問題の解消が期待できます。完璧なウェーハ接合に不可欠なのは、接合面のパーティクル除去です。そのため、ウェーハ接合の品質とウェーハ全体の均一性に悪影響を与える、パーティクル起因のボイドをウェーハの表面から除去するためにウェーハ洗浄は欠かすことができません。
<東京大学について>
東京大学は1877年に日本最初の国立大学として設立されました。大学研究の先駆けとして、東京大学は大学院および学部レベルで多岐にわたる分野のコースを設けており、学術活動のあらゆる分野での研究を実施しています。同大学では、知能の発育および専門知識や技術の習得に必要な機会を与えるため、豊富かつ多様な学術環境を学生に提供することを目指しています。
<EV Groupについて>
EV Group (EVG)は、半導体、MEMS、ナノテクノロジーなどアプリケーションのためのウェーハプロセス装置のグローバルサプライヤーです。 世界中のお客様と協力し、精度や柔軟性の高い、低コストの装置を提供しています。 ウェーハ接合、露光/ナノインプリントリソグラフィ、計測技術に関連した装置のほか、レジスト塗布装置、ウェーハ洗浄装置、検査装置とバラエティに富んだ製品を提供しています。
ウェーハボンダーにおける圧倒的シェアを持つEVGは、NILや先端パッケージング、MEMSの市場でもリーダーとしての位置を確立しています。 またEMC3Dコンソーシアムを2006年に発足し、ICやMEMS/センサーでの活用が期待されるTSVプロセス生産の低コスト化を目標としています。
その他の半導体関連の市場ではSOIや化合物半導体、パワーデバイスのソリューションも提供しています。
1980年に設立したEV Groupは、オーストリアのサンクト・フローリアンの本社を拠点に、米国アリゾナ州テンペ、ニューヨーク州アルバニー、日本の横浜と福岡、韓国のソウル、台湾の中歴（Chung-Li）にある、各支店のグローバル・カスタマー・サポート・ネットワークにより業務を展開しています。
当社の活動指針（MISSION）であるトリプルＩ（アイ）による実践法（invent：発明 - innovate：革新 - implement：実践）は、最新技術への迅速な対応、技術を製造へ適用する試み、デバイスの量産促進といった技術の垂直融合によって支えられています。 詳しくは当社ホームページをご覧ください。 (www.EVGroup.com)
本件に関する報道関係の方のお問い合わせ先：
EV Group問い合わせ窓口:
Clemens Schütte
Director of Marketing & Communications
EV Group
Tel: +43 7712 5311 0
E-mail: C.Schuette@EVGroup.com
広報代理店: オグルヴィPR
担当: 牧平／大北
Tel: 03-5793-2365, 2384 Fax:03-5793-2381
E-mail: kaori.makihira@ogilvy.com,
hiroko.okita@ogilvy.com