Nanoimprint Lithographie

Systeme (UV-NIL, µCP, HE)

EV Group provides a complete product line for UV-based nanoimprint lithography including single step UV-imprinting systems and step and repeat large area UV-nanoimprinting systems.

EVG®620 Automated UV-NIL, µ-CP System

EVG®6200∞ Automated UV-NIL, µ-CP System

IQ Aligner® Automated UV-NIL, µ-CP System

EVG®770 Automated NIL Stepper

EVG®510HE Semi-automated Hot Embossing System

EVG®520HE Semi-automated Hot Embossing System

EVG®750 Automated Hot Embossing System

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EV Group und Dynaloy entwickeln gemeinsame eine komplette Lösung für die Reinigung einzelner Wafer

Fraunhofer ISE und EVG schließen Kooperationsvertrag zur Entwicklung von direktem Wafer-Bonden

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