EVG®810LT LowTemp™ Plasma Activation System
Related Markets
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MEMS
MEMS sind intelligente Mikrosysteme mit Sensorik, Datenverarbeitung und/oder Aktorik.
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Nanotechnologie
Die Nanotechnologie umfasst Aktivitäten im Bereich unter 100 Nanometer und integriert Weiterentwicklungen aus allen wissenschaftlichen Bereichen, insbesondere aus der Mikroelektronik, der Biotechnologie und den Materialwissenschaften.
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SOI & Engineered Substrates
SOI ist eine Halbleiter-Technologie bei der Wafer mit einer ultradünnen „isolierten“ Halbleiterschicht
hergestellt werden auf der die elektronischen Schaltvorgänge ablaufen.
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