MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische-Systeme)
MEMS sind intelligente Mikrosysteme mit Sensorik, Datenverarbeitung
und/oder Aktorik.
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| | ECTC 2013 May 28 - 31, 2013, Las Vegas, NV USA |
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| | sensors expo & conference 2013 June 05 - 06, 2013, Rosemont, IL |
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| | SEMICON West 2013 July 09 - 11, 2013, San Francisco, CA |