MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische-Systeme)

MEMS sind intelligente Mikrosysteme mit Sensorik, Datenverarbeitung und/oder Aktorik.

Als MEMS werden intelligente, miniaturisierte 3D-Bauteile bezeichnet, die aus mikroelektronischen Komponenten (integrierte Schaltungen) und mikromechanischen, optischen, chemischen oder biochemischen Komponenten bestehen.
MEMS-Technologie ist ein rasch wachsender Markt mit hohem Wachstumspotenzial.
Bewegungssensoren, Mikrospiegel, Mikrophone, Drehratensensoren und Beschleunigungssensoren sind nur einige Beispiele für MEMS-Bauteile, die in Verbraucheranwendungen wie Mobiltelefonen, Fernsehern, Digitalkameras, Spielekonsolen und Laptops zum Einsatz kommen.

Die ausgereiften Prozessanlagen von EVG stellen einen essentiellen Bestandteil für die spezifischen Fertigungsprozesse von hochwertigen Mikrobauteilen und -systemen dar.