Als MEMS werden intelligente, miniaturisierte 3D-Bauteile bezeichnet,
die aus mikroelektronischen Komponenten (integrierte Schaltungen) und
mikromechanischen, optischen, chemischen oder biochemischen Komponenten
bestehen.
MEMS-Technologie ist ein rasch wachsender Markt mit hohem
Wachstumspotenzial.
Bewegungssensoren, Mikrospiegel, Mikrophone, Drehratensensoren und
Beschleunigungssensoren sind nur einige Beispiele für MEMS-Bauteile, die in
Verbraucheranwendungen wie Mobiltelefonen, Fernsehern, Digitalkameras,
Spielekonsolen und Laptops zum Einsatz kommen.
Die ausgereiften Prozessanlagen von EVG stellen einen essentiellen
Bestandteil für die spezifischen Fertigungsprozesse von hochwertigen
Mikrobauteilen und -systemen dar.