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- Weltweit erster Doppelseiten-Mask Aligner mit Unterseitenmikroskop - ein wichtiger Meilenstein für die Markteinführung von MEMS-Produkten. Unsere Anlagen stellten die fortgeschrittenen Prozesse bereit, welche benötigt wurden, um neue Produkte wie Airbagsensoren und elektronische Stabilisierungssysteme produzieren zu können. Diese Fortschritte erlaubten in der Automobilindustrie neue Errungenschaften in den Bereichen Sicherheit, Treibstoffverbrauch und Motorsteuerung.
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