EV GROUP, 새로운 ‘XT프레임’ 장비 플랫폼 적용으로

생산라인에서의 대량 생산 능력 신장

새로운 유연한 모듈 형식의 장비 설치 사양으로 장비 기능성 증대 및 쓰루풋 능력 향상

2012 년 2 월 7 일 - MEMS, 나노기술 , 반도체 시장의 세계적인 웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비 제조업체인 EV Group( 이 하 EVG) 은 XT 프레임 (XT Frame) 이라는 새로운 장비 플랫폼을 출시했다고 밝혔다 . 이번에 개발된 제품은 현재 EVG 의 거의 모든 양산용 제품군의 공정 쓰루풋과 장비 기능을 증대시킬 수 있다 . 특히 , 양산제조 고객들의 새로운 요구사항을 반영하여 설계된 XT 프레임은 EVG 의 기존 장비 능력의 두 배인 9 개의 공정 모듈을 수용할 수 있어 쓰루풋을 대폭 향상시킬 수 있다 . 뿐만 아니라 하나의 장비 플랫폼에 다른 공정 모듈들을 결합해 사용할 수도 있어 고객들은 보다 유연하게 제품을 이용할 수 있다 . 새로운 XT 프레임으로 제작 된 장비는 현재 바로 주문이 가능하다 .

최근 스마트폰이나 핸드셋과 같은 양산용 컨수머 제품에 이용되는 부품들을 포함해 웨이퍼 레벨에서 생산되는 디바이스 유형이 늘어나면서 팹에서의 생산 쓰루풋을 증가시킬 수 있는 새로운 솔루션에 대한 필요성도 함께 커지고 있는 실정이다 . EVG 의 새로운 XT 프레임 플랫폼은 초고속 핸들링 시스템을 가진 EFEM(Equipment Front End Module) 과 최대 4 개의 FOUP(front opening unified pod) 로드 포트 (load port) 뿐만 아니라 웨이퍼 여러 장을 동시에 처리할 수 있는 충분한 모듈을 제공한다 . 이는 로컬 LFSS(local FOUP storage system) 형태의 재료 버퍼와 결합되어 매우 효율이 높은 연속 모드 동작 기능을 제공할 수 있다 . 이 밖에도 새로운 디자인은 동일 장비에서 각각 다른 공정 모듈을 통해 다양한 공정을 이용할 수 있는 것을 비롯해 쉬운 업그레이드 , 보다 개선된 사용성 , 그리고 팹 내에서 공간을 적게 차지하는 소형 풋프린트 등과 같은 고객들의 추가적인 요건들을 적극 반영했다 .

EVG850TB/DB (XT Frame)
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